alias: TF,thin film,

tag: 薄膜

薄膜材料及性能的要求

• 厚度均匀性
• 台阶覆盖能力
• 填充高的深宽比间隙的能力
• 高纯度和高密度
• 化学剂量
• 结构完整性和低应力
• 好的电学特性
• 对衬底材料或下层膜好的粘附性

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薄膜技术各种成膜技术及材料

CVD ： Chemical Vapor Deposition
PVD ： Physical Vapor Deposition
[[A=工艺=AP-CVD|AP-CVD]] ：Atmospheric Pressure CVD
[[A=工艺=LP-CVD|LP-CVD]] ：Low Pressure CVD
P-CVD ：Plasma CVD
[[A=工艺=PE-CVD|PE-CVD]]：Plasma Enhanced CVD, 等离子体增强CVD
HDP-CVD ：High Density Plasma CVD, 高密度等离子体CVD

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CVD制备的薄膜及采用的前驱体

![[A=工艺=薄膜 image 3.png]]