alias: 互连,Via,通孔

tag: 薄膜,炉管

[[A=alloy|金属化]]

器件之间以及器件与外部之间的连接

![[A=互连技术 image 1.png]]

互连

局域互连：栅极互连，多晶硅，硅化物
层间互连：[[A=材料=W|W]]塞plugs，通孔Vias等 = 减小芯片尺寸
封装级别互连：长程互连[[A=材料=Cu|Cu]]、[[A=材料=Al|Al]]、mm量级

![[A=互连技术 image 2.png]]