在扫描电子显微镜中,电子束在晶体样品表面激发出相干背散射电子信号,可以产生稳定的菊池衍射花样,通过对衍射花样进行标定,可以获得局部晶体的相结构、晶粒取向、塑性变形等多种信息,为分析晶体组织结构与力学性能相关性等提供了非常重要的技术手段。
鉴于目前EBSD数据处理软件基本上都是商用软件,且都是安装在EBSD控制系统电脑上,如果要在个人电脑上进行数据分析和处理则需要密钥,价格十分昂贵。此外,商用软件EBSD数据处理功能有限,且不透明,很难满足广大用户的需求。鉴于这种情况,Ralf Hielscher等人开发了基于Matlab的MTEX功能包,可实现对EBDS数据进行后处理和可视化分析功能,但是需要用户自己编写程序代码,对初学者造成一定的困难。为此,作者在MTEX工具包的基础上,开发了电子背散射衍射实验数据处理工具(EBSDTool),实现了EBSD数据的傻瓜式处理操作。
目前,软件最新版本为V2.20
。