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V1.0 初创 杨玉刚 2022/07/08

一、方案说明

方案背景
在半导体产线搬运工艺段，以AGV为代表的自动搬运系统（AMHS）的趋势。在产线设备与AGV进行装卸载时，需要产线设备与AGV使用I/O通信来装卸载同步。该I/O通信需严格遵循SEMI 定义
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图中所示
半导体制造装置为产线设备
AGV/RGV为移动机器人本体
I/O装置为E84通讯硬件，该硬件分别安装至产线设备及移动机器人本体